等離子廢氣處理的工作原理是流星雨狀的高能等離子與介質發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態介質的 內能，發生激發、離解、電離等一系列過程是污染介質處于活化狀態。污染介質在等離子體的作用下， 產生活性自由基，活化后的污染分子經過等離子體定向鏈化學反應后被脫離。當離子平均能量超過污染 介質中化學鏈結合能時，分子鏈段裂，污染介質分解，并在等離子廢氣凈化器吸附場的作用下被收集。